1) 真空室体资料选用 SUS304 ，真空室内壁进行抛光处理，外壁选用抛光后喷珠处理。
2) 真空室之间选用独立门阀—插板阀隔开，能够完成有用隔断，安稳技能气体。现在咱们公司选用插板阀规划，它比现在国内通用的翻板阀密封作用非常好，更经用。
3) 传动选用磁导向，确保传动的安稳性。整条出产线的各段速度选用变频调速电机驱动，运转速度可调理。
4) 真空电镀设备电气操控体系：触摸屏与 P L C 自动操控，人机对话办法来完成体系的数据显现、操作与操控
关键词：真空镀膜机
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