CCZK-HT 超硬质工具镀膜机
特征描述：
新葡的京集团35222vipCCZK-HT多弧离子镀（工具镀膜）是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。
1、全SUS304优质不锈钢机身，隐藏式双层冷却水套设计
2、合理配备多套全新研制的离子弧源，配备弧源过滤系统，有效保障弧源溅射的致密性与均匀性
3、炉体加温和冷却技术，使镀膜温度可达到550摄氏度的同时伴以优秀的炉体冷却能力
4、装载大功率脉冲偏压电源，极大提高电粒子能量，从而获得优秀的膜层结合力和光洁度
5、采用新葡的京集团35222vip创新工艺制造，精益求精，全面通过欧盟CE和ISO质量管理体系认证；
技术配置
CCZK-SF磁控溅射镀膜设备
腔体结构:立式前开门，后置真空获得系统
材质用料:腔体采用优质SUS304不锈钢材质
离子弧源:依据设备大小不同配备多套弧电源系统
偏压电源:配备大功率单级脉冲偏压电源
多弧靶材:标配多套钛靶或不锈钢靶材
转动系统:变频调速，公自转结合，可采用上传动或下传动方式
真空系统:分子泵+罗茨泵+直联泵（进口）+维持泵+可选深冷泵
气体控制:多路气体质量流量控制系统
加热系统:超硬质工具镀膜550℃温控PID可调可控。
智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现逻辑全自动控制
报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。
报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。
其他技术参数：
极限真空:5.0×10-4Pa
抽气速率:5.0*10-2≤5min
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa
备注：
一般规格：
Φ1000mm*H1200mm，Φ900mm*H1000mm
真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
应用
1、利用新葡的京集团35222vipCCZK-HT离子镀设备(工具镀膜）可以在金属，玻璃，陶瓷等材料表面进行镀膜。
2、超硬质工具镀膜设备可应用于钻头，丝锥，高速刀片，耐磨轴承，切削刀具，等功能镀膜，可以大大提高产品使用寿命和使用效率
3、常用膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3等 更多应用请咨询新葡的京集团35222vip工程师
